iPHEMOS,能够适应未来 iPHEMOS-MPX 是一款高分辨率微光显微镜,它能通过探测半导体器件中缺陷导致发出的微弱光和热来定位失效位置。
可针对一个单元进行两侧故障分析 Dual PHEMOS-X 专为先进的 3D 非透明器件所设计,在这些器件中,可能需要在晶圆或芯片级的两侧(顶部和底部)同时进行光学故障分析。
MiNY PL 是一种使用光致发光 (PL) 测量方法的微型 LED 晶圆检查系统。
多波段等离子加工监控器 C10346-01 是一个专门设计用于监测半导体的各种制造过程中产生的光学等离子体发射的系统,包括蚀刻、溅射、清洁和 CVD。该 MPM 可以实时处理多通道记录。
L14471 光离子化发生器用于尽可能提高除静电性能。因此,它可以快速消除表面积较大的大型物体的静电,从而大幅提高制造过程中的生产率。L14471 还可有效消除高负荷或高速移动物体的静电。有两种类型的控制器可供选择:用于操作两个探头的 C14472 和用于操作四个探头的 C14546。
光离子化发生器是一种新型静电消除器,使用"光离子化"技术来实现清洁、简单且有效的离子生成。与通常使用的电晕放电法相比,光离子化发生器具有很大的优势。
L9873 光离子化发生器采用大多数生产线均支持的单型电源到仅 DC 24 V 电源,易于设置和使用。
GA-107 能够在一次批处理中照射大样本。 可替代 UV 烘箱,从而帮助降低运行成本。
GC-77 具有结构紧凑轻便的特点,采用风冷设计,可实现 UV-LED 光源难以达到的高输出。
GC-77S 的光线照射角度可与其安装表面垂直。 它可以安装在以前难以安装的位置,因为不需要垂直(高度)安装空间。
GC-113A 具有结构紧凑轻便的特点,采用风冷设计,可实现 UV-LED 光源难以达到的高输出。
GJ-12 仅手掌大小,重量极轻。 它可以安装在极小的空间内,从而帮助减少整个仪器的尺寸和重量。
GH-103A 采用专有的风冷技术,达到了风冷技术峰值强度的新高度。 它支持高速打印,而传统 UV-LED 光源很难做到这一点。
GH-103A 采用专有的风冷技术,达到了风冷技术峰值强度的新高度。 它支持高速打印,而传统 UV-LED 光源很难做到这一点。
C15477 是一款光学针孔检测单元,设计用于检测可充电电池和燃料电池隔膜的铝层压袋中的针孔缺陷。C15477 提供光源单元和聚光镜单元(单独出售),可定制以匹配各种工件形状。特点
C12965 是一款针孔检测单元,与氙气闪光灯结合使用时,可检测 1 μm 或更小的针孔。C12965 可有效发现极小的缺陷,如微小的针孔和微裂纹。它还支持高速传送带,实现高达每分钟 600 件的高速检测。
C12760 是一款多功能针孔检测单元,专为可充电电池隔膜而设计,可以检测半透明材料中的针孔,这种材料允许光线通过,因此无法通过我们产品阵容的其他产品进行检测。C12760 与最大速度达每分钟 600 米的高速传送带兼容,可通过在传送带上安装多个检查单元支持不同的工件宽度。
C12570 系列设计用于检查铝层压薄膜和金属箔中的针孔缺陷。在薄膜针孔检测单元中,C12570 系列具有极高的灵敏度,能够检测直径低至 2 μm 的针孔,非常适合不允许存在针孔,并且精准检测优先于高速传送的严格检查用途。